Laser-Konfokal­mikroskopie
Keyence VK-X 130K

Ein Laserstrahl wird zeilenweise über die Probe geführt; das reflektierte Licht gelangt über eine Lochblende zum Detektor. Da nur Licht aus der Fokusebene die Blende passiert, wird der Fokus schrittweise in der Höhe verfahren und für jeden Bildpunkt die Höhe mit maximaler Intensität bestimmt. So entsteht ein Höhenbild der Oberfläche, das mit dem Farbbild der Kamera überlagert wird. Größere Messfelder werden aus mehreren Einzelbildern zusammengesetzt. Typkennwerte des VK-X 130K nach Herstellerangabe: roter Halbleiterlaser mit 658 nm, Sichtfeld 16 µm bis 5400 µm, Anzeigeauflösung in der Höhe 5 nm, maximale Probenhöhe 28 mm im Standardstativ.

Aus dem Höhenbild werden Linienrauheitskennwerte wie Ra, Rz und die Spitzenzahl RPc sowie flächenhafte Kennwerte wie Sa, Sz und Spd berechnet. Die Grenzwellenlängen der Filter werden dabei wie im Tastschnittverfahren gesetzt, damit die Werte vergleichbar bleiben. Objektiv, Filter und Auswertung hat das IKS in Vergleichsmessungen mit dem Tastschnittgerät an Rauheitsvergleichsmustern für gestrahlte Oberflächen abgestimmt.

Die normgerechte Rauheitsmessung nach DIN EN ISO 4288 und DIN EN ISO 8503-4 erfolgt im Tastschnittverfahren; das Konfokalmikroskop ergänzt sie dort, wo ein flächenhaftes Bild der Oberfläche benötigt wird oder die Probe nicht berührt werden soll. Für die Elementzusammensetzung von Oberflächen und Belägen steht das Rasterelektronenmikroskop mit EDX zur Verfügung.

Beschreiben Sie kurz Werkstoff, Oberflächenzustand, Probengröße und die gesuchte Kenngröße. Wir prüfen, ob die Laser-Konfokalmikroskopie geeignet ist, und nennen Ihnen andernfalls ein alternatives Verfahren, etwa die Rauheitsmessung im Tastschnittverfahren oder die Rasterelektronenmikroskopie.